超精密零件加工在尺寸精度、形狀精度（dù）、表麵質量等多個方麵都有極其嚴格的要求，以下是具體介紹：
尺（chǐ）寸（cùn）精度
公（gōng）差範圍極小：超精密零件的（de）尺寸公差通常被控製（zhì）在微米（μm）甚至納米（nm）級別。例如，在航空航天領域，一（yī）些發動機葉片的關鍵尺寸公差可能要求控製在 ±5μm 以內；在半導體製造中（zhōng），芯片製造所（suǒ）使用的光刻掩膜版（bǎn）的線條寬度公差可達到 ±10nm 左右。
一致（zhì）性要（yào）求高：對於一（yī）批超（chāo）精密零件，不僅單個零件要滿足高精度要求，而且零件之間的（de）尺（chǐ）寸一致性也必（bì）須極高。以手機（jī）攝像頭中的微型光學鏡片為（wéi）例，同一批次鏡片（piàn）的直徑尺寸偏差（chà）要控製在極小範圍（wéi）內，否則會（huì）影響攝像頭的成像質（zhì）量。
形狀精度
平麵度：要（yào）求零件（jiàn）的表麵平整度極高，例如，精密光學平麵鏡的平麵度可能要求達到 λ/10 甚至更高（λ 為光的波長，通常取 632.8nm），即平麵的（de）起伏偏差在幾十納米以內。
圓度：像航空發動機的渦輪軸等關鍵（jiàn）零件，其圓度誤差通常（cháng）要求控製在 0.001mm 以下（xià），以確保在高速旋轉時的穩（wěn）定性和可靠性。
圓柱度（dù）：對於一些高精度的液壓油缸、氣動元（yuán）件等，圓柱度要求嚴格，可能（néng）在（zài） 0.002mm - 0.005mm 之（zhī）間，以保證良好的（de）密封性和運動（dòng）精（jīng）度。
位置精度
同軸度：在汽車發動機的曲（qǔ）軸加工中，各軸頸的同軸度誤差一般要求控製在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會影（yǐng）響發（fā）動機的動力輸出和穩定性。
垂直度與平行度：在精密模（mó）具製造中，模具（jù）的上下模板之（zhī）間的平行度誤（wù）差通（tōng）常要（yào）求控製（zhì）在 0.05mm 以內，以保證模具在合模時的精度，從而生產出高質量的產品。
表麵質（zhì）量
表麵粗糙度：超精密零件（jiàn）的表麵粗糙度一般要（yào）求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更（gèng）低。如硬盤的磁頭滑塊表麵，為了減少與磁盤的摩擦和提高讀寫性能，表（biǎo）麵粗糙度可能達（dá）到 Ra0.005μm 左右（yòu）。
表麵（miàn）完整性：除了粗糙度外，還要求表麵（miàn）無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層（céng）等缺陷。例如在光學鏡（jìng）片的（de）加工中，表麵任何微（wēi）小的（de）劃痕或裂（liè）紋都可能導致光線散射，影響光學（xué）性能（néng）。
材料性能一（yī）致性
微（wēi）觀組織均勻性：零件材料的微觀組織如晶粒大（dà）小、相組成（chéng）等要均勻一致（zhì）。以高強度合金鋼製造的航空（kōng）零部件為例，若材料微觀組織不均勻，會導致零件在受力時出現局部應力集中，降低零件的整體性能和使用壽命。
性能穩定性：材料的力學性能、物理性能等要穩定。在電（diàn）子元器件製（zhì）造（zào）中，用於製造芯片的半導體材料，其電阻率、載流（liú）子遷移率等性能參（cān）數必（bì）須在嚴格的（de）範圍內，否則（zé）會影響芯片的性能和可（kě）靠性。
裝配精度
間隙配（pèi）合精度：在機械手表的機（jī）芯裝（zhuāng）配中，齒輪與軸之（zhī）間的間隙配合精（jīng）度通常要求（qiú）控製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走時精度（dù）。
過盈配合精度：在汽車發動機的活塞與活塞銷裝配中（zhōng），過盈量（liàng）一般（bān）控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保活塞與活塞銷之間既能傳遞動（dòng）力，又能在不（bú）同工況下保持（chí）良好的工作狀態。
